Control Valves

컨트롤 밸브는 질량 유량 컨트롤러, 압력 컨트롤러의 매우 중요한 부분이며, 일체 또는 별도의 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이는 비례, 전자기 밸브이며 매우 빠른 응답과 부드러운 유량제어의 특징을 가지고 있습니다. 또한 특수한 경우의 사용을 위하여 Bronkhorst 는 여러종류의 제어벨브를 구비하고 있습니다.

Direct acting valves (Series F-001, F-021)

이 밸브는 기본 블럭 내 또는 블럭 상부에 부착되는 형식의 밸브모듈로 구성되어있습니다.  제어 밸브 F-001는 낮은 유량의 제어 또는 100bar 까지 제어 가능한 MFC / EPC(최대 유량 50 l_n/min N₂- 기준) 제어 벨브 모듈로 구성 되어 있습니다. 이 모듈은 대형 밸브 및 제어기에 파일럿 밸브로 사용이 가능합니다. 또한 F-021은 최대 200bar까지 사용 가능한 고압용 밸브입니다.

Vary-P valves (Series F-033, F-042)

특허받은 2상제어 방식의 최대 700bar까지 제어 가능한 고압(차압)용 밸브입니다. 각 2개의 파트는 각각 흐름제어 모듈과 압력제어 모듈로 구성 됩니다. 압력제어 모듈은 전단압과 4bar정도의 낮은 압력을 유지하여 흐름제어 모듈의 작동을 원활하게 도와 주며, 이렇게 항상 같은 압력으로 차압을 유지시키며 입구 및 출구의 압력에 영향없이 작동 합니다. 

Pilot-operated valves (Series F-002A, F-003A, F-003B)

특허를 받은 파일럿 작동 밸브는 500 m³_n/h (N₂-기준)의 높은 유량에 적합한 간접 행동 제어 밸브 입니다. 이는 파일럿 밸브로서, 앞에서 말한바와 같이 완전한 Vary-P 밸브를 사용합니다. 따라서 이는 압력 보상을 합니다. 전방측 메인 밸브의 밀봉을 압력에 의존하는 것은, 실린더 뒷면의 용수철이 압력을 제어하기 때문입니다. 이 실린더는 메인 밸브에 힘을 제공합니다. 즉, 델타-P가 스프링의 힘보다 더 클 경우에만 메인 밸브가 열리게됩니다.

Pressure compensated bellow valves (Series F-004)

압력 보상 벨로우즈 밸브는 위에서 언급된 F-001 씨리즈와 같은 다이렉트 제어 밸브입니다. 이 밸브는 스프링의 힘에 의해 폐쇄됩니다. 작동 방식은 F-001 과 같으나, 벨로우즈는 플런저에 작용하는 힘을 보상해 주며, F-001에서는 매우작은 자기력으로 큰 오리피스를 개방할 수 있습니다. 벨로우즈 압력 보상 디자인은 매우 작은 압력에서도 매우 부드럽게 컨트롤이 가능합니다.

Powerful direct acting valves (Series C5I)

리퀴드를 사용하는 경우 높은 유량 컨트롤과 100bar의 높은 압력 컨트롤 가능합니다. Bronkhorst사의 C5I 밸브는 액체 전용 뿐만 아니라 가스 흐름 컨트롤 사용을 가능하게 설계 되었습니다. C5I 밸브는 IP65 하우징과 자기 코일을 사용하며, 노멀 클로우즈 타입 입니다. 유량 및 유체에 따라 C5I 밸브는 5 에서 40 bar(d) 까지의 최대 압력차를 허용 합니다. Bronkhorst 질량 유량계와 함께 유량 또는 압력 제어루프를 형성 할 수 있습니다.

Manual control valves (Series FLOW-ADJUST) 수동 컨트롤이 가능한 두 가지의 표준 제어 밸브(standard resolution - SR)와 다섯가지의 고정밀 제어밸브(High resolution - HR)를 개발 하였습니다. 고정밀 밸브는 낮은 유량의 기체 및 액체를, 표준제어 밸브는 가장 높은 유량 범위를 커버 합니다. 높은 정밀도를 자랑하는 수동 제어형 밸브는 Mass Flow ONLINE 샵에서 구입하실 수 있습니다.