CEM-System
Liquid Delivery System with Vapour Control

General


CEM-System (제어 증발 및 믹싱)은 대기압 또는 진공 프로세스에 적용 할 수있는 혁신적인 송액 시스템 (LDS)입니다. 증기 생성 시스템은 액체 유량 제어기, 캐리어 가스 용 MFC 및 온도 조절 혼합 및 증발 장치로 구성됩니다. 이 시스템은 50 mln/min 부터 100 ln/min까지의 케리어 가스와 0,25-1200 g/h의 액체 흐름을 포화 증기로 발생 시키 수 있습니다. 그리고, 이 기화기 시스템은 버블러를 대체 할 수있습니다. 또한, CEM-시스템은 혼합물을 증발 시킬 수 있고, 용매에 용해된 고체도 성공적으로 증발시킬 수 있습니다.


VDM-Series: Vapor Delivery Modules


앞서 말 한 바와 같이 CEM-technology 기술을 기반으로 Bronkhorst는 새로운 증기 전달 모듈을 개발하였습니다. 컴팩트한 서브 시스템의 개발으로 CEM-System의 많은 부품들을 작고 일체화 시켰습니다. VDM-Series의 특징은 이러한 부품들의 통합으로 디스플레이 및 제어기능을 통합된 한개의 전원 공급장치로 컨트롤가능합니다. 옵션으로 유닛을 로컬 또는 원격으로 제어 가능하며, ‘plug and work’ 모듈은 100 mln/min 부터 10 ln/min 범위 안의 증기 흐름을 발생시킬 수 있습니다. VDM은 대기압 또는 진공상에서 혼합물을 증발 시킬수 있으며, 심지어 용매에 용해된 고체를 증발 시킬 수 도 있습니다. 

Bronkhorst의 고도의 증착기술은 빠르고 정확하며,  지속적 반복 가능한 효율적 기술입니다.




  • Features
  • Applications
  • Capacities
  • Documentation

Features

  • Accurately controlled gas/liquid mixture (mass flow)
  • Fast response
  • High reproducibility
  • Handles water, solvents, liquid mixtures
  • Very stable vapor flow
  • Flexible selection of gas/liquid ratio
  • Lower working temperature than conventional system

Applications

  • CVD (Chemical Vapor Deposition), e.g. for hardening, thin film coating or planarization processes
  • Testing/calibration of analyzers with reference gas vapor concentrations
  • Toxic gas effects on protective clothing
  • Analyzers with reference H2O vapour concentrations
  • Humidification of fuels
  • Anaesthetics

Capacities

Model 

Description             

Max. capacity
(based on water)

Max. capacity

Max. temp.

W-101A 10 W, for µ-FLOW 2 g/h Liquid 4 ln/min Gas 200°C
W-102A 10 W, for LIQUI-FLOW™/ mini CORI-FLOW™ 30 g/h Liquid 4 ln/min Gas 200°C
W-202A 100 W, for LIQUI-FLOW™/ mini CORI-FLOW™ 120 g/h Liquid 10 ln/min Gas 200°C
W-303B 1000 W, for LIQUI-FLOW™/ mini CORI-FLOW™ 1200 g/h Liquid 100 ln/min Gas 200°C
SW-100 10 W, VDM-Series 30 g/h Liquid 4 ln/min Gas 200°C
SW-200 100 W, VDM-Series 120 g/h Liquid 10 ln/min Gas 200°C

Leaflet

For more information see leaflets "CEM Liquid Delivery System" and "VDM Series - Vapor Delivery Modules"

CEM Evaporation systemCEM model W-202AVapor Delivery Module
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