Theory and advantages of 'CEM' Vapour Control

실내 온도에서 화학 반응을 위한 액체(TCA, HMDSO, SICH3CL, Etc) 또는 물 을 가압용 용기(가압용 가스는 브로셔 참고)로부터 공급받고, 액체 질량 유량계(C)로 측정하여 필요한 만큼의 액체를 케리어가스를 믹싱 벨브(M)로 기체/액체 상태로 무화 시킨 후 기체/액체 상태의 혼합물은 완전한 기화를 위해 증발기(E)로 투입됩니다. 이 방법론의 약어로 CEM 이란.: Control - Evaporation - Mixing, 즉, Bronkhorst's 리퀴드 운반시스템의 3가지 기본 기능입니다.
완벽한 CEM시스템은 시스템 장치의 동작을 위한 전원공급 장치를 포함하는 판독/제어 유닛(E-7000)을 함깨 사용함으로서 완벽하게 구성됩니다.

cemtheory

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