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Thermal mass flow measurement

열 질량 흐름 미터 및 컨트롤러는 질량 유량을 결정하는 유체 (기체 또는 액체)의 열 전도도를 사용합니다.

for gases, by-pass principle

그림 A 에 나타낸 바와 같이 가스 흐름의 일부는 센서를 통해 흐르고, 히터 RHT1 및 RHT2 의해 예열된다. 결과적으로 측정 된 온도의 T1 및 T2의 온도는 그림 B에 나타낸 바와 같이 온도 차이는 질량 유량에 정비례한다. 전기적으로, 온도의 T1과 T2는 사실 온도 종속 저항 RHT1 및 RHT2에 있습니다.

tmfpricipleillustrationsmall.jpg

figure A

thermisch_principe

figure B

그림A는 센서에서 측정 된 신호를 전기 신호로 증폭하는 방법을 보여줍니다. 센서는, 메인 채널에 바이 패스로 장착되고 흐름 구분을 담당한 특허받은 유동 저항 스플리터에 비례하며 또한, 아래의 프로세스 조건을 변화시킴니다. 이 층류 요소는 흐름 센서와 같은 유사한 특성을 갖는 고정밀 에칭 유동 채널을 가진 스테인레스 스틸 디스크의 스택으로 구성됩니다.

for gases, inline principle

인라인 센서 (노 바이패스) 직선형 채널 구성의 질량 흐름 미터는 두 개의 히터 프로브와 온도 센서 프로브 즉, 두개의 스테인레스 스틸 프로브는 유량계 내부에 돌출되어 있습니다. 일정한 온도 (ΔT)을 두 개의 탐침이 ΔT를 유지하는데 필요한 에너지가 질량 유량에 비례 사이에 생성됩니다. 이러한 개념에 기초하여, 질량 유량은 주로 유동 조절 (그림 C 참조)에 대해 통합되어 가스 피팅 및 메쉬 스크린으로 인한 낮은 압력 강하로 측정 할 수 있다. 전통적인 열 MFMs 및 MFC를 비교하여 직접 측정 CTA 원리 (일정한 온도 풍속)의 장비는 습도와 오염에 덜 민감 합니다.

CTA Mass Flow Sensor

figure C

for liquids

LIQUI-FLOW® 시리즈의 액체 질량 유량계는 움직이는 부품이나 장애물이 없는 스테인리스 관 주위에 히터 및 센서가 내장되어 있습니다. 히터 및 센서 어셈블리는 튜브 주위에 배치되었고, 다음과 같은 anemometric 원칙을 응용한 것 입니다. 온도 (ΔT)에서 일정한 차이를 만들어 ΔT를 유지하는데 필요한 에너지는 질량 유량에 의존한다. 그로 인해 고유한 특허를 받은 센서의 이점은 유체는 최대 5 °C 까지  예열됩니다. 따라서 낮은 비등점을 가진 유체에는 LIQUI-FLOW® 시리즈가 적합 합니다.

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