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Pressure measurement

Bronkhorst® EL-PRESS압력 센서는 실리콘 칩의 표면에 피에조 저항 브리지를 사용합니다. 이 칩의 내부 구조는 칩의 내부 두깨가 전체 압력 다이어프램의 압력 범위를 결정하며, 그 반대편에는 구멍이 있습니다. 칩에 압력을 가할 경우 다이어프램이 휘어지며 다리에 받는 저항 값을 압력에 비례하여 변환시키게 됩니다. 압력 측정용 셀은 얇고 민감한 스테인리스 격막에 의하여 외부 압력으로부터 보호되고, 다이어프램과 압력 셀 사이는 밀봉된 케비티 와 오일로 채워져 있습니다.  

Bronkhorst EL-PRESS Pressure Sensor

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