IQ+FLOW
Chip-sensor based Mass Flow Meters/Controllers for gases

General

장비 제조 업체에서는 시스템 네의 압력, 가스유량을 모니터링 하거나 제어하기위한 컴팩트한 솔루션을 찾고 있습니다. 기존 유량 및 압력 메터/컨트롤러는 NeSSITM 시스템에서 지정된 공간 약 1.5" 이 필요했습니다. 지금 Now, TNO-TPD (네덜란드 응용 물리학 연구소)와 Bronkhorst® 는 긴밀한 협력으로 IQ+FLOW® 질량 유량 센서를 개발했습니다. Micro solid state technology (MEMS)의 사용으로 인해, Bronkhorst® 는 초소형 압력, 유량 메터/컨트롤러를 실현 0.75"의 크기로 공간을 반으로 줄일 수 있었습니다.

High intrinsic quality, featuring...

  • Flow ranges from 0,2...10 mln/min up to 0,1...5 ln/min (Full Scale values)
  • 열 벨런스 칩센서를 사용, 영점이 매우 안정적임
  • 완성품은 높은 공간 효율성을 보장함.
  • 낮은 비용으로 경제적인 솔루션
  • 빠른 응답성, 300 msec 이하
  • Analog and digital (RS232 / RS485) 통신

Customer specific designs

마이크로 시스템 기술을 기반으로 Bronkhorst® 는 IQ+FLOW®  씨리즈로 컴팩트한 매니폴드 기능 모듈을 구성 할 수 있는 가능성을 제공합니다. IQ+FLOW manifold solutions을 참조하십시오.

  • Analytical applications
  • Flow capacities
  • Documentation

Analytical applications

0.75"  싸이즈의 초소형 모듈을 기준으로 분석 응용의 예입니다.

  • Flow - GC 인젝터 측 압력제어
  • GC or HPLC 검출기의 유량제어
  • FID 검출기의 유량제어

Flow capacities (based on Air)

Mass Flow Meter (MFM)

Ranges

Series IQF-100C min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,1 ... 5 ln/min
Series IQFD-100C
(downported)
min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,1 ... 5 ln/min

Mass Flow Controller (MFC)

Ranges

Series IQF-200C min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,1 ... 5 ln/min
Series IQFD-200C
(downported)
min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,1 ... 5 ln/min


Leaflet

For more information see leaflet "IQ+FLOW Micro Solid State Controllers"

Miniature Mass Flow Controller Top mount MFC
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