Bronkhorst
EL-FLOW® METAL SEALED MASS FLOW METERS / CONTROLLERS

EL-FLOW® Metal Sealed 질량 유량계 / 컨트롤러

고순도 가스 공급

Metal Sealed 가스 질량 유량계 및 컨트롤러는 특허를 받은 고유한 금속 씰 구조이며 리실링 기능이 뛰어난 것이 특징입니다. 또한 높은 표면 품질로 반도체(semiconductor) 및 태양광(solar) 산업의 요구조건은 물론 다른 고순도 가스 용도에 특히 적합합니다. 질량 유량계 및 컨트롤러의 기본 사양으로 1/4" face seal(VCR) 연결부가 있습니다.

  • 최저 유량 범위 0,12...6 mln/min
  • 최고 유량 범위 1... 50 ln/min

Metal Sealed 질량 유량계 / 컨트롤러 필드버스 인터페이스

현재의 계측기에는 디지털 pc-board가 장착되어 있어 고정밀, 뛰어난 온도 안정성 및 빠른 응답(settling time t98에서 500msec까지)을 제공합니다. 최신 EL-FLOW® 설계는 Multi Gas / Multi Range 기능을 갖추고 있어 (OEM) 고객에게 최적의 유연성과 프로세스 효율성을 제공합니다. 고객의 편의를 위해 브롱호스트는 사용하기 쉬운 소프트웨어를 제공합니다. 

문의 요청

Quick link to Mass Flow Meter/Controller model pages

Full Scale capacities (based on N) and pressure rating
 

Mass Flow Controller Mass Flow Meter
PN 64 bar PN 100 bar
F-201CM  |  0,006 ... 50 ln/min F-111CM  |  0,006 ... 50 ln/min


특징

  • 금속 - 금속 외부 seal 구조 (no rings) 
  • 가스 접촉 부품의 높은 표면 품질
  • 클린룸 조립
  • 선택적으로 통합된 인터페이스를 갖춘 아날로그 및 디지털 I/O MBC3Lab.Connections
  • 높은 정확도 및 재연성
  • 다양한 프로세스에서 안정적인 제어 가능

afbeelding

Downloads

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure
Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed)

BRONKHORST KOREA Co. Ltd

경기도 화성시 동탄순환대로 830 SK
V1 Center 209호
대표자 : 헨드리크제지너스타펠
사업자등록번호 : 119-86-74469

           Social Responsibility
Copyright © 2024 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note