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EL-FLOW® Metal Sealed
Gas Mass Flow Meters / Controllers


Bronkhorst  메탈 씰 가스 메터 및 컨트롤러는 우수한 밀봉 기능을 가진 메탈 실링(metal-to-metal)기술 특허를 가지고 있습니다. 메탈 씰 가스 메터 및 컨트롤러는 높은 수준의 표면 처리공정으로 반도체 산업의 요건에 충족하고 특히 고순도 가스 어플리케이션에 적합합니다. 기본 컨낵션은 1/4" 1/4" face seal male (VCR)을 지원합니다.

lowest range 0,12...6 mln/min
highest range 1... 50 ln/min

현재 Bronkhorst®  제품은 높은정확도 , 뛰어난 온도 안정성 및 빠른응답속도(셋팅 타임 t98 down to 500 msec)를 제공하고 디지털 방식의 PC 보드 (digital pc-board) 를 갖추고 있습니다. EL-FLOW® 디자인은 최고의 유연성으로 주문자 생산(OEM-)및 멀티가스/ 멀티레인지를 지원합니다. Bronkhorst® 는 사용하기 쉬운 구성의 소프웨어를 무료로 제공합니다. configuration software.

  • Features
  • Flow capacities
  • Documentation


  • High accuracy (standard ±0,5% RD plus ±0,1% FS)
  • Resealable metal-to-metal outer seal construction (no rings) 
  • Electropolished wetted parts
  • Cleanroom assembled
  • Multi Gas / Multi Range functionality
  • Analog and digital I/O, with optionally integrated interface to
    CANopen®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus, EtherCAT or FLOW-BUS
  • Super stable zero (no need for auto-zero circuit)

Flow capacities (based on air)

Mass Flow Meter (MFM)


Model F-111CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

Mass Flow Controller (MFC)


Model F-201CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

Metal sealed Mass Flow Controller (MFC) model F-201CMMetal sealed Mass Flow Meter model F-111CM
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