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Mass Flow Surface Mount Solutions


많은 고객이 하나의 컴팩트 한 디자인에 다양한 기능을 결합하는 솔루션을 찾고 있습니다 . Bronkhorst® 는 고객과 긴밀한 협력으로 FLOW -SMS 시리즈를 개발했습니다. 견고한 레일 시스템위에 하나 이상의 징량 유량 또는 압력 센서모듈, 제어벨브, 차단벨브, 혼합실, 필터, 또는 고객의 요청에 따른 다른 기능의 모듈과 결합된 작고 가벼운 시스템 입니다. 사양에 대하여 설명 드리자면, 유량센서의 범위는 다음의 값 사이에서 결정 됩니다. 5 mln/min 부터 50 ln/min까지, 압력의 범위는 0-100 mbar 또는 0-10 bar 사이에서 결정 할 수 있습니다.  적용 사업장에 따라 Cmpression type couplings, Face seal fittings, Flange등의 연결 장치를 선택할 수 있습니다.  고객의 주문시 클린룸에서 조립, 테스트, 포장 됩니다. 우리는 당신의 적용가능한 시스템에 대하여 논의하기 위해 가장 가까은 대리점에 문의하는 것을 기다리고 있습니다.

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  • Features
  • Applications
  • Documentation


  • Compact assembly ensures space efficiency
  • Economical solution, low cost of ownership
  • Tubeless construction reduces potential leak points
  • Service friendly; easily accessible from the top (top-mount functional modules)
  • Great flexibility regarding system extension or modification
  • Pre-tested "Plug and Play" units, reducing custom
    testing requirements
  • Analog or digital communication (RS232, DeviceNet™, CANopen®,


The FLOW-SMS Series has great potential in many different markets, for instance in:

  • Vacuum, plasma, sputter and coating processes
  • Semiconductor and solar cell production
  • Catalyst test benches
  • Burner control (welding)
  • Biotechnological and chemical installations
  • Food and beverage processes


For more information see our "FLOW-SMS brochure"

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