Mixing chambers for creating homogeneous gas mixtures

General

특수 가스 혼합물에 대한 필요성이 증가하고 있습니다. 또한, 매우 자주 다양한 농도로 변화가 필요합니다. Bronkhorst® 는 당신이 원하는 응용 프로그램에 대한 질량 유량 컨트롤러 공급에 많은 경험을 가지고 있습니다. 동종의 가스 혼합물을 생성하는 것은 두 개 이상의 기체 스트림의 흐름을 제어 하는것 이상의 문제 입니다. 예를 들어, 10 ln/min 희석 가스와 도펀트(이물질-반도체공정) 1 mln/min의 희석이 필요한 경우, 만약 적절한 혼합기를 사용하지 않는 이상 균질한 혼합물을 수득을 기대할 수 없습니다. Bronkhorst® 는 이러한 목적을 위해 특수 혼합 챔버의 시리즈를 개발했습니다. 응용 프로그램에 대한 옵션을 논의하기 위해 해당 지역의 대리점에 문의하시기 바랍니다.

Documentation

Please find here our leaflet "Gas Mixing Chambers"

Gas mixing application
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