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가스 라인에 설치된, 가스 열 질량 흐름 미터/컨트롤러는 오염에 민감합니다. MTBF(평균 고장 간격)를 증가 시키기는 원인을 보자면, 입력 가스가 깨끗한지 아닌지 확인하는 것이 매우 중요합니다. COMBI-FLOW 필터는 이러한 서비스를 제공합니다. 필터 요소는 파이프에서 기재를 제거하지 않고 교체 될 수 있습니다.

  • Features
  • Available models


  • SS 316L sintered metal filters, for general purpose filtration
  • Cartridges may be cleaned with suitable solvent
  • In case of severe particle content in gas use pre-filter
  • In principle select finest porosity with low ΔP; preferably ΔP not higher than 250 to 500 mbar, and porosity not bigger than 5 mm.
  • On request: PVDF fine filters for ultra-clean filtering

Available models

Model no.  Average porosity
Pressure rating
M1-AB 0.5 10 bar
M1-AC 2.0 10 bar
M1-AD 7.0 10 bar
M1-AE 15.0 10 bar

M1 COMBI-FLOW filter
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